普通四探針方阻電阻率測試儀
按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)，本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口，
本機(jī)采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差，比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進(jìn)步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測量，更加準(zhǔn)確.
本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。
液晶顯示，無需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項(xiàng)目要求選購.
規(guī)格型號 | FT-331 | FT-332 | FT-333 | FT-334 | FT-335 | FT-336 |
1.方塊電阻范圍 | 10-5～2×105Ω/□ | 10-4～2×103Ω/□ | 10-3～2×105Ω/□ | 10-3～2×103Ω/□ | 10-2～2×105Ω/□ | 10-2～2×103Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6×106Ω-cm | 10-5×104Ω-cm | 10-4～2×106Ω-cm | 10-4～2×104-cm | 10-3～2×106Ω-cm | 10-3～2×104-cm |
3.測試電流范圍 | 0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA | 10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA | 0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA | 10μA，100μA，1mA，10mA， 100 mA | 0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) | ±0.2%讀數(shù) | ±0.2%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) |
5.電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
6.顯示讀數(shù) | 液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
7.測試方式 | 普通單電測量 |
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W |
9.整機(jī)不確定性誤差 | ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） |
10.選購功能 | 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺 |
11.測試探頭 | 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針 |
