金屬薄膜四探針電阻率測試儀

一般目前的四探針電阻率（電導(dǎo)率）測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數(shù)值的設(shè)置，計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，zui常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結(jié)果做相應(yīng)的校正。可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。也可測柔性導(dǎo)電薄膜和玻璃等硬基底上導(dǎo)電膜的方塊電阻（簡稱方阻），換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。

 金屬薄膜四探針電阻率測試儀

    儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；自動轉(zhuǎn)換量程；測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正，測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。  

恒流源：

輸出電流：DC 0.1mA～10mA分兩檔

10mA量程：0.1～1mA 連續(xù)可調(diào)

10mA量程：1mA ～10mA連續(xù)可調(diào)

恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%

適合測量各種厚度的硅片
 

基本技術(shù)參數(shù) 

1.測量范圍、分辨率

電    阻：     1.0×10-3～ 200.0×103 Ω,    分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω

電 阻 率：     1.0×10-3～ 20.0×103Ω-cm  分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω-cm

方塊電阻：     10.0×10-3～ 200.0×103Ω/□  分辨率1.0×10-3～ 0.1×103 Ω/□

測量范圍：0～199.9mv，靈敏度：100μv，準(zhǔn)確度：0.2%（±2個字），供電電源：AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W

 使用環(huán)境：

相對濕度≤80%

重量、體積

重量：2.2 公斤

體積：寬210×高100×深240（mm）

 產(chǎn)品特點：

■ 四探針：一次測量，顯示完整電阻率值。

■ 采用了*的恒流源技術(shù)，能夠滿足寬范圍的電阻率測試要求

■電阻率測量：大屏幕清晰顯示硅料電阻率值，方便檢料工快速分選

■ 電流測量：本儀器采用良好芯片技術(shù)，可通過調(diào)節(jié)硅材料厚度，儀器可直接鎖定電流，使測量使用更加簡便準(zhǔn)確，本儀器可根據(jù)需要配備測試平臺， 利用測試平臺可以測試薄片電阻率

 注意事項：

1、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象，

2、探針筆測試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針

3、儀器操作前請您仔細(xì)閱讀使用說明書，規(guī)范操作

4、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量

量程劃分及誤差等級